TC－110A型硅片強度測試儀說明書

新余市新光自動化機電設備有限公司

TC－110A型硅片強度測試儀說明書

 目錄

第一部份    設備性能指標――――――――――3

第二部份    設備使用說明――――――――――4

第三部份    設備備件清單――――――――――6

第一部份份  設備性能指標

1、 電源電壓：220V、50HZ

2、 功率：300W

3、 氣源：6kg/cm2 

4、 電機運行最高速度：75mm/s

5、 變形量測試時間：最快2.6S/片

6、 壓力模式測試時間：最快10S/片

7、 破碎模式測試時間：10S/(片*30mm)

8、 精度：力量為 十/一0.05N, 變形量為 ＋/—0.05mm

第二部份    設備使用說明

一、 安全事項

1， 測試時必須將安全門關上，以防硅片破碎傷到人特別是人眼。

2， 如因觀測需要，不能關上安全門，則必須帶上防護眼鏡操作。

3， 保證電腦不被病毒的感染，否則將影響測試指標。

二、 操作界面說明

1， 名詞說明：預沖脈沖數－是指電機直接下降到一定的高度，下降高度＝預沖脈沖數×0.015mm。預沖脈沖數－指在測量時，不需要測量數據的變形量，這個變形量將不做測量，直接走過，以縮短測量時間，這個參數只有在破碎模式才有，忽略的變形量＝預壓脈沖數×0.015mm。找零點：這個名詞在界面中沒有，但在每個模式測量第一片硅片時，設備將會自動找零點，以便準確地測量，這個過程會有點慢。

2， 軟件操作界面主要分為［變形量模式］、［壓力模式］、［破碎模式］、［調試模式］、［密碼修改］、［刪除方案］、［設置參數］、［校驗］等幾個界面。在［變形量模式］和［壓力模式］中又分為［全自動］和［半自動］測試方式。

3， 變形量模式操作：啟動軟件后，導入方案，選擇［自動］或［半自動］模式。（注意，此時的預沖脈沖數是指電機直接下降到一定的高度再開始找零點，如時果預沖脈沖數設置過大，將直接壓壞硅片。）

A,當選自動模式時，按［全自動開始］后，放入硅片，開始測量，如果先放入了硅片，此時不會測量，一定要將硅片拿出后再放入才會開始測量。需要更換模式時，請先按［停止/歸位］，再按［恢復］按鈕，再切換到其它模式。

B,當選擇［半自動模式］時，放入硅片后按［半自動開始］按鈕，就可開始測量。

C,如此時需要修改方案參數，請點［修改］按鈕再修改參數。修改完后，可保存參數，也可不保存。

4， 壓力模式操作：啟動軟件后，導入方案，按［啟動測量］按鈕開始測量（注意，此時的預脈沖數是指電機直接下降到一定的高度再開始找零點，如時果預沖脈沖數設置過大，將直接壓壞硅片）。

5， 破碎模式操作：啟動軟件后，導入方案，按［啟動測量］按鈕開始測量。（注意，此時的預脈沖數是指電機直接下降到一定的高度再開始找零點，如時果預沖脈沖數設置過大，將直接壓壞硅片。）

在此模式中，可選擇需要忽略的變形量，即預沖脈沖數。

6， 調試模式：這個模式中，零點需要人力選取，建議用［單點測量］測出硅片受到的壓力大于0.4N，并最接近0.4N時，選擇［取零點獲?。?，然后開始測量。測量完后，數據不會直接保存在電腦中，需要點［保存數據］按鈕，如測得的數據不需要保存，請點［清除數據和圖線按鈕］。

電機上升或是下降可以選[連續],電機運行速度此時只受速度參數中的數據控制，如果不選[連續]，則電機可以一步一步地前進，前進距離只受[步進脈沖數]控制，每進一步的距離＝步進脈沖數×0.015mm。

獲取測量數據有自動可手動兩種方式，在連續測量框中，可以選擇獲取數據的方式，也可點［單點測量］手動獲取數據。

7， 校驗功能：在菜單［參數］－［校驗］中?？捎秒娮犹炱胶蜏y量塊進行壓力和變形量的佼驗。其中有修正系數一項，當電腦顯示結果與電子天平有差別進，可調整此參數，以修正設備的誤差。

8， 其它：此設備還有修改密碼、修改方案、刪除方案、增加/刪除操作員、增加/刪除硅片型號等功能。如要將數據導出，請在［D：\測試數據］中將ACESS文件內查找所需的數據，再進行導出，可導出成EXCEL等格式的文件。

三、 維護保養

1， 做完檢測后，請將硅片掃入下面的抽屜中，以保持機器能完好地工作，特別在自動測量模式時，保證破碎的硅片沒有擋住感應器。

2， 當抽屜中的硅片快裝滿時，請及時倒除，以免影響設備的托盤上下運動。

3， 如托盤上下運不順時，請檢查是否有硅片卡在運動間隙中，如有請清除。

4， 本設備是精密測量設備，請不要受過大的振動和沖擊，特別在搬移過程中，不能傾斜角度不能超過25度。

5， 請保持感應器表面的清潔。

第三部份    設備備件清單