上海磊天自動化科技有限公司
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新余市新光自動化機電設備有限公司
TC-110A型硅片強度測試儀說明書
目錄
第一部份 設備性能指標――――――――――3
第二部份 設備使用說明――――――――――4
第三部份 設備備件清單――――――――――6
第一部份份 設備性能指標
1、 電源電壓:220V、50HZ
2、 功率:300W
3、 氣源:6kg/cm2
4、 電機運行最高速度:75mm/s
5、 變形量測試時間:最快2.6S/片
6、 壓力模式測試時間:最快10S/片
7、 破碎模式測試時間:10S/(片*30mm)
8、 精度:力量為 十/一0.05N, 變形量為 +/—0.05mm
第二部份 設備使用說明
一、 安全事項
1, 測試時必須將安全門關上,以防硅片破碎傷到人特別是人眼。
2, 如因觀測需要,不能關上安全門,則必須帶上防護眼鏡操作。
3, 保證電腦不被病毒的感染,否則將影響測試指標。
二、 操作界面說明
1, 名詞說明:預沖脈沖數-是指電機直接下降到一定的高度,下降高度=預沖脈沖數×0.015mm。預沖脈沖數-指在測量時,不需要測量數據的變形量,這個變形量將不做測量,直接走過,以縮短測量時間,這個參數只有在破碎模式才有,忽略的變形量=預壓脈沖數×0.015mm。找零點:這個名詞在界面中沒有,但在每個模式測量第一片硅片時,設備將會自動找零點,以便準確地測量,這個過程會有點慢。
2, 軟件操作界面主要分為[變形量模式]、[壓力模式]、[破碎模式]、[調試模式]、[密碼修改]、[刪除方案]、[設置參數]、[校驗]等幾個界面。在[變形量模式]和[壓力模式]中又分為[全自動]和[半自動]測試方式。
3, 變形量模式操作:啟動軟件后,導入方案,選擇[自動]或[半自動]模式。(注意,此時的預沖脈沖數是指電機直接下降到一定的高度再開始找零點,如時果預沖脈沖數設置過大,將直接壓壞硅片。)
A,當選自動模式時,按[全自動開始]后,放入硅片,開始測量,如果先放入了硅片,此時不會測量,一定要將硅片拿出后再放入才會開始測量。需要更換模式時,請先按[停止/歸位],再按[恢復]按鈕,再切換到其它模式。
B,當選擇[半自動模式]時,放入硅片后按[半自動開始]按鈕,就可開始測量。
C,如此時需要修改方案參數,請點[修改]按鈕再修改參數。修改完后,可保存參數,也可不保存。
4, 壓力模式操作:啟動軟件后,導入方案,按[啟動測量]按鈕開始測量(注意,此時的預脈沖數是指電機直接下降到一定的高度再開始找零點,如時果預沖脈沖數設置過大,將直接壓壞硅片)。
5, 破碎模式操作:啟動軟件后,導入方案,按[啟動測量]按鈕開始測量。(注意,此時的預脈沖數是指電機直接下降到一定的高度再開始找零點,如時果預沖脈沖數設置過大,將直接壓壞硅片。)
在此模式中,可選擇需要忽略的變形量,即預沖脈沖數。
6, 調試模式:這個模式中,零點需要人力選取,建議用[單點測量]測出硅片受到的壓力大于0.4N,并最接近0.4N時,選擇[取零點獲?。?,然后開始測量。測量完后,數據不會直接保存在電腦中,需要點[保存數據]按鈕,如測得的數據不需要保存,請點[清除數據和圖線按鈕]。
電機上升或是下降可以選[連續],電機運行速度此時只受速度參數中的數據控制,如果不選[連續],則電機可以一步一步地前進,前進距離只受[步進脈沖數]控制,每進一步的距離=步進脈沖數×0.015mm。
獲取測量數據有自動可手動兩種方式,在連續測量框中,可以選擇獲取數據的方式,也可點[單點測量]手動獲取數據。
7, 校驗功能:在菜單[參數]-[校驗]中??捎秒娮犹炱胶蜏y量塊進行壓力和變形量的佼驗。其中有修正系數一項,當電腦顯示結果與電子天平有差別進,可調整此參數,以修正設備的誤差。
8, 其它:此設備還有修改密碼、修改方案、刪除方案、增加/刪除操作員、增加/刪除硅片型號等功能。如要將數據導出,請在[D:\測試數據]中將ACESS文件內查找所需的數據,再進行導出,可導出成EXCEL等格式的文件。
三、 維護保養
1, 做完檢測后,請將硅片掃入下面的抽屜中,以保持機器能完好地工作,特別在自動測量模式時,保證破碎的硅片沒有擋住感應器。
2, 當抽屜中的硅片快裝滿時,請及時倒除,以免影響設備的托盤上下運動。
3, 如托盤上下運不順時,請檢查是否有硅片卡在運動間隙中,如有請清除。
4, 本設備是精密測量設備,請不要受過大的振動和沖擊,特別在搬移過程中,不能傾斜角度不能超過25度。
5, 請保持感應器表面的清潔。
第三部份 設備備件清單
TC-110A型硅片強度測試儀備件清單 | |||||
序號 | 名稱 | 規格 | 描述 | 生產廠商 | 備注 |
1 | 頂桿 | 用于在檢測狀態頂住硅片 | 新光自動化機電設備有限公司 | 如有磨損,需要更換 | |
2 | 按鈕 | AD15 | 上海千洲電子電器有限公司 | 如果只是按鈕內的指示燈壞了,可以只更換指示燈 | |
3 | 24V直流電源 | 220VAC輸入,24VDC、5A輸出 | 上海千洲電子電器有限公司 | ||
4 | 電磁閥 | 24VDC、4V110-06 | 用于控制托盤上下 | AIRTACT | |
5 | 壓力傳感器 | FAKS-3 | 用于檢測壓力 | 美國-Transcell Technology inc. | |
6 | 壓力變送器 | C&V | 美國-Transcell Technology inc. |